高純氯氣在微電子工業(yè)中的應用

　　微電子工業(yè)的半導體器件和大規(guī)模集成電路的可靠性，在很大程度上取決于半導體表面的熱氧化、等離子蝕刻、晶體生長等技術，而這些工藝過程則需使用高純氯氣，氯氣質量的好壞會直接影響電子元器件的質量。

　　二氧化硅中的Na*是造成硅平面元件和MOS器件性能不穩(wěn)定的主要原因。若在干氧化時摻入適量的高純氯氣，就能有效地消除Na，從而大大改善MOS器件的電性能。用氯氣進行二氧化硅的熱氧化和蝕刻是美國材料檢驗學會標準中規(guī)定的方法。

　　洛陽華普氣體科技有限公司作為地區(qū)專 業(yè)的高純氯氣氣體產品研發(fā)供應機構，公司生產的各種不同類型的高純氦氣、高純氧氣、高純笑氣等產品不僅質量上乘，而且產品純度高，各種不同純度類型的產品都有，在實際的工業(yè)生產領域中有著廣泛的應用，深受廣大需求廠家的好評，值得信賴，歡迎前來選購。